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　　01

　　气体安全

　　半导体行业的热切一环

　　连年来，半导体行业气体清晰事件时有发生，其中不乏好意思国、日本、韩国等知名半导体制造企业，由此养殖出的爆燃、光刻机损毁、超净车间粉碎、晶圆批量报废、东说念主员伤一火等事故令东说念主驰魂夺魄。

　　电子气体是半导体制造经过中不成或缺的基础材料，品类多达上百种，资本约占芯片总资本的13%，被誉为“芯片血液”。

　　电子气体多为易燃易爆、有毒无益、腐蚀性、窒息性气体，一朝发生清晰，哪怕锐利常眇小的清晰，也可能引起爆炸、东说念主员窒息或中毒事故。

　　气体安全是半导体行业高质地发展的热切一环。《特种气体系统工程手艺尺度》(GB50646-2020)中有强制性规矩，在储存、运送、使用特种气体的区域或地方，如气瓶柜和阀门箱的排风管口处、废气处置安设排风出管口处、惰性气体车间等，应设立特种气体探伤安设。

　　02

　　高性能传感加握

　　半导体行业专用气体检测仪

　　汉威科技（300007）集团推出的半导体工场气体检测仪GD-HS10，是一款成心用于检测半导体工场中可燃、有毒、无益气体清晰的高端自研居品，具有高聪颖度、高可靠性、低浓度检测等特色，可检测氨气、砷化氢、氯气、硅烷等上百种气体，适用于半导体、液晶面板、光伏和电板制造等行业。

　　世俗袒护

　　撑握上百种气体检测

　　撑握电化学、催化、光学等多种旨趣的气体传感器，可检测上百种气体，撑握个性化定制。

　　使用便捷

　　传感器模组即插即用

　　传感器接管模块化筹算，即插即用，更换、爱护更便捷天真。

　　性能越过

　　超远距离高精度检测

　　进气管长达30米，可进行超远距离检测；每种气体均接管对应温度抵偿及交融算法，可终了ppm级高精度精确检测。

　　直不雅露馅

　　点阵式大屏一目了然

　　点阵式LCD大屏露馅界面好意思不雅易读，气体称呼、浓度、报警情况等一目了然，稳健国内用户俗例。

　　当今，汉威科技集团的半导体工场气体检测仪GD-HS10如故告捷运用于多家半导体制造工场，并得到用户的一致招供。

　　结语

　　半导体行业是关乎国度安全和科技竞争力的计谋性先导产业开云kaiyun官方网站，气体安全是行业高质地发展的热切一环。动作气体传感器与安全样貌限制的领军企业，汉威科技集团将以高端自研居品护航半导体行业发展。